تاثیر کاشت یونی ژرمانیم در فرآیند ایجاد اکسید حرارتی سیلیکون

نوع مقاله : مقاله پژوهشی

نویسنده

گروه مواد هسته ای سازمان انرژی اتمی ایران

چکیده
سرعت اکسید شدن در سیلیکون می تواند در اثر وجود ناخالصی ها تغییر کند.

عنوان مقاله English

SILICON STEAM OXIDATION

نویسنده English

D Fathi